等离子废气处理设备内部产生富含化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较量的活性基团发生反应，终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。

　　等离子废气处理设备去除污染物的机理：

　　等离子废气处理设备化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：

　　(1)电场＋电子→电子

　　(2)电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团

　　(3)活性基团＋分子(原子)→生成物+热

　　(4)活性基团＋活性基团→生成物+热

　　从以上过程可以看出，电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。

　　低温等离子废气净化器去除污染物的原理：

　　在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使有毒有害物质转变成无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。